SFM5500-0.5slm

10 bar — допустимое давление, при котором сохраняется работоспособность изделия; такой уровень позволяет интегрировать его в линии с повышенным статическим давлением без редукции до более низких значений. Питание 26.4 V указывает на необходимость стабильного источника с соответствующим номиналом; отклонение от этого значения потребует проверки совместимости по электрической части. Совокупность 10 bar и 26.4 V задаёт граничные условия по механической прочности и по электропитанию, которые должны быть обеспечены на стороне системы.

500 sccm и 50sccm обозначают контролируемые диапазоны малых расходов, что ориентирует изделие на задачи точного дозирования газа. При таких значениях акцент смещается на стабильность поддержания заданного потока, а не на транспортировку больших объёмов. Наличие одновременно 500 sccm и 50sccm позволяет выбирать исполнение под требуемую чувствительность системы без выхода за пределы указанных параметров.

0.5slm, 0.5 slm, 2slm и 10slm показывают варианты по верхнему пределу расхода в литровом диапазоне; это расширяет применимость от малых до более интенсивных потоков в рамках одной линейки. Значение 0.5slm пересекается по уровню с 500 sccm, тогда как 2slm и 10slm ориентированы на существенно больший пропуск газа без перехода на иные классы давления, оставаясь в пределах 10 bar. Такой набор — 0.5 slm, 2slm, 10slm — упрощает подбор под требуемый технологический режим без изменения напряжения питания 26.4 V.