SFC5500-50sccm

0.05 slm по full scale flow rate означает, что рабочая шкала рассчитана на малые расходы: при выборе аналога с большей шкалой та же абсолютная ошибка по FS будет заметнее на нижней части диапазона. Точность задана как 0.2%FS or 2% SP, поэтому при оценке погрешности нужно смотреть и на долю от полной шкалы, и на долю от заданного значения, а не только на один показатель.

5 bar — верхний предел рабочего давления; линии с давлением выше этого значения требуют другого исполнения по давлению. Калибровка указана для Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O flow, поэтому при сравнении с аналогами нужно проверять именно наличие нужного газа в калибровочном списке, а не только совпадение расхода.

14 - 26.4 V по питанию задаёт допустимый диапазон источника, а Average supply current 75000 uA и Max. supply current 120000 uA нужны для проверки запаса по каналу питания. Интерфейсы указаны как Device net, RS485, поэтому выбор аналога зависит от уже используемой шины обмена; габариты 105 x 38.5 x 90.5 mm стоит сверить с посадочным местом и доступом к портам Legris.