PTST050100P | Opto Engineering

0.10 мм между линиями и 0.05 мм толщина линии задают плотный полосовой рисунок без укрупнённых элементов: такая геометрия чувствительна к качеству позиционирования и к оптике, потому что на изображении будут заметны не только сами полосы, но и переходы между ними. Геометрическая точность 2.0 µm показывает, насколько фактический рисунок удержан относительно заданной геометрии, а резкость края 1.4 µm указывает на степень проработки границы линии; на практике это важно там, где требуется различать именно форму и положение кромки, а не только наличие полос. При числе линий 53 и максимальной длине линии 8 мм шаблон ориентирован на работу с компактной активной зоной, а не с протяжённым полем.

11 мм и 8 x 8 мм прямо указывают на габариты рабочей области, поэтому при совмещении с оптической схемой нужно учитывать, что полезный рисунок ограничен именно этой зоной, а не всей деталью. Наружный диаметр 21 мм и толщина 1.6 мм задают механический формат изделия: рабочая структура занимает только часть общей площади, что удобно для центрирования и установки, но требует проверки посадочного места по диаметру и толщине. Процесс Photolitography в сочетании с Soda lime glass и покрытием Chrome on glass согласуется с тонкой геометрией 0.05 мм и точностью 2.0 µm: стеклянная подложка даёт стабильную основу рисунку, а хромовое покрытие формирует сами полосы с контролируемой кромкой 1.4 µm.